亚洲欧美综合在线第一页-国产午夜精品国内小视频-亚洲va乱码一区二区三区-国产尤物在线视精品在亚洲

歡迎進入英國普拉勒科技有限公司-普拉勒(南京)儀器科技有限公司網(wǎng)站!

24小時熱線電話:400-859-7066
新聞資訊

articles

當(dāng)前位置:首頁  /  新聞資訊  /  金剛石氫氣發(fā)生器助力于半導(dǎo)體制造技術(shù)發(fā)展

金剛石氫氣發(fā)生器助力于半導(dǎo)體制造技術(shù)發(fā)展

更新時間:2023-11-10點擊次數(shù):1656
  半導(dǎo)體制造技術(shù)作為信息時代制造的基礎(chǔ),堪比工業(yè)時代的機床,是整個社會發(fā)展的基石和原動力。在產(chǎn)業(yè)分工格局重塑的關(guān)鍵時期,我國也提出了《中國制造2025》,以通過智能制造實現(xiàn)由制造大國向制造強國的轉(zhuǎn)換,智能制造(工業(yè)4.0)的實現(xiàn),以各種信息器件的使用為基礎(chǔ),半導(dǎo)體制造技術(shù)正是其制造的核心技術(shù)。而氫氣作為半導(dǎo)體制造中的氣源,在半導(dǎo)體材料及器件制備中起到至關(guān)重要的作用??稍诠怆娖骷?、傳感器、IC制造中應(yīng)用。
 
  目前半導(dǎo)體工藝中氫氣主要用于退火、外延生長、干法刻蝕等工藝,其中:
 
  退火是通過高溫加熱釋放材料內(nèi)部應(yīng)力從而改善材料質(zhì)量的一種材料處理辦法,氫氣作為保護氣可以起到防止氧化等作用,多用于薄膜生長后釋放應(yīng)力。氫氣也可以應(yīng)用在化學(xué)氣相沉積薄膜生長?;瘜W(xué)氣相沉積是一種利用固態(tài)-氣態(tài)反應(yīng)、氣態(tài)-氣態(tài)反應(yīng)生成薄膜的設(shè)備,如在CVD工藝中作為還原性氣體制備二維材料MOS2、WS2等;等離子增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)工藝中作為還原性氣體制備石墨烯、單晶硅、碳化硅等;電子回旋共振化學(xué)氣相沉積(ECR-CVD)中作為反應(yīng)氣體在單晶硅襯底上制備金剛石薄膜;金屬有機化學(xué)氣相沉積(MOCVD)設(shè)備中作為載氣制備光電材料GaN、AlGaN等。同時氫氣也可以在原子層沉積中使用。
 

金剛石氫氣發(fā)生器(半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器)

 


 
  目前,普拉勒金剛石氫氣發(fā)生器(半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器)目前已大量應(yīng)用在以上工藝中,為半導(dǎo)體材料及器件制備提供好的氣源。MOCVD金剛石氫氣發(fā)生器(半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器)全部工作過程均由程序控制,自動恒壓、恒流,通過串聯(lián)控制線,可實現(xiàn)多組并聯(lián)使用,操作方便使用時只需打開電源開關(guān)即可產(chǎn)氫,使用后無需泄壓,直接關(guān)閉電源即可。可連續(xù)使用,也可間斷使用,產(chǎn)氫量穩(wěn)定不衰減,且該設(shè)備配有安全裝置,電解超純水制氫,無腐蝕、無污染,配有壓力控制,缺水自動監(jiān)控,漏氣自動檢測。
咨詢服務(wù)熱線

400-859-7066

掃描微信號
Copyright © 2024 英國普拉勒科技有限公司-普拉勒(南京)儀器科技有限公司版權(quán)所有   備案號:蘇ICP備17031188號-1
技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)   管理登陸   sitemap.xml

TEL:13951716344

琼中| 稷山县| 蒙山县| 晋城| 张家界市| 监利县| 全州县| 康乐县| 林芝县| 榕江县| 灌阳县| 清水河县| 广河县| 稻城县| 诏安县| 屯门区| 平潭县| 扶风县| 阿尔山市| 固始县| 梧州市| 惠来县| 景宁| 肇源县| 永顺县| 成都市| 三原县| 中宁县| 称多县| 昌平区| 深水埗区| 靖州| 仲巴县| 威信县| 冷水江市| 建平县| 大英县| 启东市| 金昌市| 宜都市| 屯留县|